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VTF-1400縦型管炉
VTF-PECVD-1200縦型単温域PECVDシステム
KTL-CVD-1700-1400双温域CVDシステム
KBF 1700雰囲気タンク炉
OTL 1200雰囲気管式炉
OTL 1200-1200-1200三温域管式炉
RTF 1200-1200単温域回転管式炉
KBF 1100タンク炉
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KBF 1400雰囲気タンク炉
KBF 1200-HAF水素ガス雰囲気炉
RTF 1200-1200双温域回転管式炉
KBF 1200雰囲気タンク炉
OTL-PECVD-1200三温域PECVDシステム
KBF 1700-HAF水素ガス雰囲気炉
KBF 1400タンク炉
KTL 1400−1700−1400三温域管式炉
KTL-CVD-1700-1700双温区管式炉CVDシステム
VTF−1200縦型管炉
OTL-PECVD-1200-1200双温域PECVDシステム
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